風速和風量的評定標準
(1)、對于亂流潔凈室:
A、系統(tǒng)得實測風量應大于各自的設計風量,但不應超過20%;
B、總實測新風量和設計新風量之差,不應超過設計新風量的±10%;
C、室內(nèi)各風口的風量與各自設計風量之差均不應超過設計風量的±15%;
(2)、對于單向流(層流)潔凈室:
A、實測室內(nèi)平均風速應大于設計風速,但不應超過20%;
B、總實測新風量和設計新風量之差,不應超過設計新風量的±10%;
(3)、新鮮空氣量:
潔凈室(區(qū))內(nèi)應保持一定的新鮮空氣量,其數(shù)值應取下列風量中的*大值
A、非單向流潔凈室(區(qū))總送風量的10%~30%,單向流潔凈室(區(qū))總送風量的2%~4%;
B、補償室內(nèi)排風和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;
C、保證室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3;
相關標準數(shù)據(jù)
凈化空調(diào)系統(tǒng),根據(jù)室內(nèi)容許噪聲級要求,風管內(nèi)的風速:
總風管:6~10m/s;無送、回風口的支風管:4~6m/s;有送、回風口的支風管:2~5m/s
※為保證空氣潔凈度等級的送風量,制藥潔凈室按下表相關數(shù)據(jù)進行計算:
潔凈度等級(ISO14644-1) | 氣流類型 | 平均風速(m/s) | 換氣次數(shù)(h-1) | 應用實例 |
1~4 | 單向流 | 0.3~0.5 | — | 無菌加工 |
5 | 單向流 | 0.2~0.5 | — | 直接支持無菌加工的其它加工區(qū) |
6 | 非單向流 | — | 50~60 | 無菌加工的支持區(qū);包括受控的制備區(qū) |
7 | 非單向流 | — | 15~25 | |
8~9 | 非單向流 | — | 10~15 |
微電子潔凈室實例:
潔凈度等級(ISO14644-1) | 氣流流型 | 平均風速(m/s) | 單位面積送風量(m3/㎡·h) | 應用實例 | ||
2 | U | 0.3~0.5 | — | 光刻、半導體工藝區(qū); | ||
3 | U | 0.3~0.5 | — | 工作區(qū)、半導體工藝區(qū); | ||
4 | U | 0.3~0.5 | — | 工作區(qū)、多層掩膜工藝、密盤制造、半導體服務區(qū)、動力區(qū); | ||
5 | U | 0.2~0.5 | — | |||
6 | M | 0.1~0.3 | — | 動力區(qū)、多層工藝、半導體服務區(qū); | ||
N 或M | — | 70~160 | ||||
7 | N 或M | — | 30~70 | 服務區(qū)、表面處理; | ||
8 | N 或M | — | 10~20 | 服務區(qū) | ||
U:單向流 | N:非單向流 | M:混合流(單向流和單向流的組合流型) | ||||
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醫(yī)院中,采用空調(diào)的手術室、產(chǎn)房工作區(qū)和灼傷病房的氣流速度宜≤0.2m/s;核醫(yī)學科的通風柜應
采用機械排風,排風口的風速應保持1m/s 左右;
生物實驗室用生物**柜與排風系統(tǒng)得連接方式:
生物**柜* | 工作口平均進風速度(m/s) | 循環(huán)風比例(%) | 排風比例(%) | 連接方式 | |
Ⅰ級 | 0.38 | 0 | 100 | 密閉連接 | |
Ⅱ級 | A1 | 0.38~0.50 | 70 | 30 | 可排到房間或設置局部排風罩 |
A2 | 0.50 | 70 | 30 | 可設置局部排風罩或密閉連接 | |
B1 | 0.50 | 30 | 70 | 密閉連接 | |
B2 | 0.50 | 0 | 100 | 密閉連接 | |
Ⅲ級 | — | 0 | 100 | 密閉連接 |
出具測試報告
測試報告應包含如下內(nèi)容:
a、測試單位的名稱與地址、測試人名稱、測試日期、數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)得名稱;
b、所參考的測試標準的編號與版本日期,如ISO 14644-3:2002;
c、所測設施名稱及毗鄰區(qū)域的名稱及測試點的座標;
d、測試類型與測試條件;
e、指定的性能標準,包括占用狀態(tài);
f、所采用的測試方法;
g、測試結果;
h、所參考的測試標準對特定測試所規(guī)定的其他具體要求;
適用儀器:
熱式風速計Model 6004 | 智能型熱式風速風量儀Model KA32/41 | 智能型環(huán)境測試儀Model A5 系列 |